질량 유량 컨트롤러 유닛

메이커 아에라

모델 FC-770AC

연식

외부 치수

전시장 엔잔 테크니컬 센터

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문의 번호 VD2P55

기계 사양

6점 세트 N2(10sccm) He(100sccm) O2(100sccm) C2F6(50sccm) CHF3(50sccm) O2(10sccm) 기타 전원・케이블 부속

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