기계 사양
이동 범위: X, Y, Z 축 3mm, 각도 조정 (θx, θy) 8°
구동 방식: 키네마틱 기구
조정 방법: 육각 렌치에 의한 미세 조정
내하중: 22 N
재질: 알루미늄
감도: 직선 이동 0.9 µm, 각도 조정 18 µrad
나사 기준: 8-32와 1/4-20 탭 구멍
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기계 사양
이동 범위: X, Y, Z 축 3mm, 각도 조정 (θx, θy) 8°
구동 방식: 키네마틱 기구
조정 방법: 육각 렌치에 의한 미세 조정
내하중: 22 N
재질: 알루미늄
감도: 직선 이동 0.9 µm, 각도 조정 18 µrad
나사 기준: 8-32와 1/4-20 탭 구멍
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