기계 사양
밸브:253B-6-6-2(000415887)
컨트롤러: 152G-PO(96124406A)
진공계:627B.1TBD1B S(레인지 1Pa)
게이트 내경:φ150 플랜지 나사 센터:φ240
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기계 사양
밸브:253B-6-6-2(000415887)
컨트롤러: 152G-PO(96124406A)
진공계:627B.1TBD1B S(레인지 1Pa)
게이트 내경:φ150 플랜지 나사 센터:φ240
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