건식 에칭 장치 - 도쿄 응화 공업 TCE-3822
제품 사양
메이커 도쿄 응화 공업
모델 TCE-3822
연식 2011
외부 치수
전시장 정보
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 및 문의
가격 가격 문의
문의 번호 I70530
기계 사양
시리얼 T-1108729
전원 : 3 상 200V 125A 60Hz
1/2: 에칭 장치 본체 Φ125 웨이퍼 대응 석영 챔버 2개
2/2 : 제어 랙 KYOSAN 매칭 컨트롤러 (MAK5) 1KWRF 전원 누수 검출기 (WR-NA)
드라이 펌프별 판매
※PC기판NG(수리나 교환이 필요)
첨부파일
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